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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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制定研究高頻高壓電暈等離子處理機(jī)

制定研究高頻高壓電暈等離子處理機(jī):
       等離子體作為物質(zhì)的第四種狀態(tài),由于其獨(dú)特的離子效應(yīng)、優(yōu)異的導(dǎo)電性和明顯的集體運(yùn)動(dòng)行為,在能源、信息材料、化工、醫(yī)療、空間物理等層面得到了廣泛的關(guān)注和應(yīng)用。在等離子體應(yīng)用和營(yíng)銷推廣的同時(shí),各層面對(duì)等離子體發(fā)生器的制定提到了更多的要求。由于傳統(tǒng)的DC等離子體發(fā)生器能耗高,效率低,新型高效電暈等離子處理的制定和研究越來(lái)越重要,以滿足現(xiàn)代工業(yè)的更高需求。
       針對(duì)傳統(tǒng)直流電暈等離子處理存在的問(wèn)題,制定了高頻高壓電暈等離子處理器。該系統(tǒng)由移相全橋PWM控制模塊功率驅(qū)動(dòng)控制模塊、高可靠性雙串聯(lián)諧振升壓模塊等控制模塊組成,可有效提高輸入功率效率,大大降低驅(qū)動(dòng)電路的熱損耗,穩(wěn)定等離子體。
發(fā)生高頻高壓電暈等離子處理的方法。

電暈等離子處理機(jī)

       在電磁線圈上施加高頻電場(chǎng)時(shí),一部分空氣電離形成的自由電子做好快速運(yùn)動(dòng),二次碰撞氣體原子形成電離,在垂直于磁場(chǎng)方向的截面上形成閉環(huán)渦流。根據(jù)等離子體電磁感應(yīng)原理,電流頻率越高,磁通變化率越大,感應(yīng)電勢(shì)越大,電磁感應(yīng)原理越明顯,等離子體束越穩(wěn)定。由于高頻正弦交流電電磁感應(yīng)原理的存在,等離子體束具有皮膚效應(yīng)。

       電流頻率越高,穿透深度越小,皮膚效應(yīng)越明顯,等離子體中的自由電子越集中。表面電子密度增加,自吸現(xiàn)象減弱(發(fā)射體向外輻射的譜線被自身原子吸收,削弱譜線中心強(qiáng)度),等離子體越穩(wěn)定。
       因此,當(dāng)放電端的電壓和正弦交流電的頻率分別達(dá)到相關(guān)閾值時(shí),可以形成可靠性好、電子密度高的等離子體。等離子體可以在高頻高壓下通過(guò)氣體放電穩(wěn)定形成。在晶體管的驅(qū)動(dòng)下,系統(tǒng)通過(guò)移相全橋控制電路提供控制信號(hào),通過(guò)高頻串聯(lián)諧振升壓電路穩(wěn)定輸入信號(hào)升壓。
       在高頻升壓電路的制定中,系統(tǒng)采用基于LC串聯(lián)諧振的高頻串聯(lián)諧振固態(tài)特斯拉升壓電路。電路由低壓輸入端、主電容組、串聯(lián)諧振斷路器、初級(jí)線圈和放電端組成,可在放電端形成高壓電場(chǎng),實(shí)現(xiàn)高頻高壓條件下的等離子體。高頻高壓電暈等離子處理通過(guò)移相全橋控制電路在功率晶體管驅(qū)動(dòng)下提供控制信號(hào),通過(guò)高頻串聯(lián)諧振升壓電路穩(wěn)定發(fā)生輸入信號(hào)升壓,降低驅(qū)動(dòng)管耗,提高輸入電源效率。
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