半導體包裝行業(yè)，包括集成電路、分離器件、傳感器和光電子包裝，經(jīng)常使用金屬引線框架。為了提高結合和塑料密封的可靠性，金屬支架通過等離子清洗機處理幾分鐘，以去除表面的有機物和污染物，增加其可焊性和粘接性。此外，有時人們會發(fā)現(xiàn)金屬支架在等離子清洗機的真空環(huán)境中處理不當，容易變色、變黑、嚴重甚至燒板。是因為腔內(nèi)空氣不干凈，殘余空氣中的氧分子被激發(fā)，氧等離子體與金屬表面發(fā)生化學反應面發(fā)生化學反應化嗎？原因會是這樣嗎？
等離子清洗機真空度對產(chǎn)品清洗和變色效果的影響：

     影響等離子清洗機真空度的因素有：真空腔漏率、回真空、真空泵速度、工藝氣體進口流量。速度較快的真空，表明背壓值較低，說明在內(nèi)部的空氣較少，銅支架與空氣中氧等離子體反應的機會較少；當工藝氣體進入時，所形成的等離子體可與銅支架充分反應，無刺激性的工藝氣體可帶走反應物，銅支架清洗效果好，不易變色。
等離子清洗機功率對產(chǎn)品的清洗效果和色差的影響。
       電漿清洗機電源功率與其功率密度有關。電源功率越大，等離子體能量越高，對產(chǎn)品表面的沖擊力越強；同等功率下，處理的產(chǎn)品數(shù)量越少，單位功率密度越大，清洗效果越好，但可能會導致能量過大、板面變色或燒板。
       等離子清洗機電場分布對產(chǎn)品清洗效果和變色的影響。電極結構、氣流和金屬制品的放置位置等與電場分布有關的因素有關。根據(jù)處理材料、技術需求、生產(chǎn)能力要求，電極結構的設計不同的氣體流向形成氣場，影響等離子體的運動、反應、均勻性的產(chǎn)品配置位置影響電場和氣場特性，能量分配不均衡，局部等離子體密度過大燒板。
        除上述因素外，實踐證明，等離子清洗機的處理時間、電源頻率、載具類型等都會影響產(chǎn)品的處理效果和變色。