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CRF等離子火焰處理機對雙陶瓷基片臺構造有著匯聚等離子的作用：
金剛石有著高的硬度、熱導率、化學穩定性以及光學透過率等物理和化學性能，這些優異性能，等離子火焰處理機使得金剛石在許多領域都可以作為一種理想材料。例如可以用作電子束引出窗口、高頻高功率電子器件、高靈敏的表面聲學波濾波器、切削工具等。
射頻CRF等離子火焰處理機化學氣相沉積（MPCVD）法制備金剛石，MPCVD法制備金剛石的優勢變得非常明顯，世界高端金剛石基本上是通過MPCVD法制備的，與其他生長方法相比，MPCVD法具有無極放電、生長速度快、金剛石雜質少等優點，成為金剛石生長的理想方法。
近年來，MPCVD技術取得了很大進展，對金剛石沉積工藝參數影響的研究已經趨于成熟，但對MPCVD裝置諧振腔的研究還有待進一步深人。微波諧振腔是MPCVD裝置中的核心部件，不同的射頻等離子火焰處理機微波諧振腔構造會影響電場強度及分布，從而影響等離子狀態，等離子火焰處理機對金剛石沉積質量和速率有相應影響。MPCVD裝置微波諧振腔的構造研究對于金剛石生長方面是有著價值的。
常用的MPCVD法生長金剛石所用的諧振腔有不銹鋼板諧振腔式和石英鐘罩式，石英鐘罩式利于生長大面積的金剛石薄膜，但速率較慢且容易污染石英管，而不銹鋼板諧振腔式設備則有著生長速率快的特點。
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