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低溫plasma的表面改性是固體和氣體之間的直接反應：
低溫plasma的原理是將空氣分子通常電離析為離子、電子和微小的粒子，然后通過這些微小的粒子不斷地對材料表面進行轟炸，以提高材料表面的親水性。目前，電子、醫療、航空航天、印染等行業都采用了低溫plasma技術。
使用射頻電源的低溫等離子體或某人稱為冷等離子體。其特點是能量密度高，但柔軟，溫度相對較低。使用時的溫度與正常天氣相同，不會對材料表面造成高溫損壞。在改性材料表面的過程中，等離子不僅能與材料表面產品發生物理反應，還能與材料表面發生化學反應。
低溫plasma技術具有工藝簡單、操作方便、成本低、對材料無損傷、加工速度快、處理效果好、環境污染小、節能等優點。近年來，它發展迅速，取代了許多傳統的材料表面處理方案。特別是精密電子和電氣行業，得到了非常廣泛的應用。
低溫plasma的表面改性是固體和氣體之間的直接反應。這是一種干洗過程。清洗后的材料可以直接使用，不僅可以大大提高工作效率，而且可以大大節約水資源、節能環保，減少化學溶劑的使用和廢物處理。同時，該技術具有反應速度快、作用時間短、物理力學性能損失小、改性效果多、應用前景廣闊等優點。
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