1、plasma放空氣體壓力過低
可能原因：請檢驗汽體是不是打開或汽體是不是耗盡
解決措施：如出現(xiàn)該類警報請檢驗內(nèi)腔底端的破真空常用氣路電磁閥是不是正常情況下工作，路線有無斷路或短路。
2、plasmaCDA壓差過低警報（破空氣體壓力低）
可能原因：此警報為壓縮空氣氣壓不足夠警報，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的機器設備，出現(xiàn)此警報時需檢驗CDA是不是正常情況下氣路致機器設備端。
解決措施：核對氣路壓差是不是過高或過低，減壓表的警報值是不是設定正確。
檢驗電氣路線是不是出現(xiàn)斷路或短路。

3、plasma不發(fā)光
可能原因：1.機械泵是不是正常情況下運轉(zhuǎn)；2.射頻電源主板芯片燒毀；
處理措施：1.機械泵是不是正常情況下工作，查看真空壓力表值是不是達到正常情況下壓差值；如不能達到正常情況下壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢驗氣路是不是固定好。
4.plasma打開機器設備右側(cè)面板，檢驗射頻電源主板芯片綠色燈在機器設備正常情況下運轉(zhuǎn)下是不是亮，如果不亮，請聯(lián)系東信高科售后人員進行替換。
4、plasma機械泵不工作
可能原因：1.真空泵油不足；2.電機燒毀；3.機械泵磨損
處理措施：1.清洗后，添加真空泵油；2.請聯(lián)系我公司客服
5、plasma清洗效(果)異常
可能原因：1.等離子功率不夠；2.選用不適合的反應汽體
解決措施：1.調(diào)節(jié)功率旋鈕，提高功率；2.工藝汽體是不是匹配合理；3.咨詢我公司客服；
6、plasma機械泵熱過壓保護，請檢驗路線和機械泵常見故障。
可能原因：出現(xiàn)此情況請首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無變化，機器設備突然斷電會引起系統(tǒng)參數(shù)清零，導致機器設備出現(xiàn)該類警報。
解決措施：如系統(tǒng)參數(shù)無變化，請核對熱繼電器是不是自動保護，按復位鍵，然后啟動真空發(fā)生系統(tǒng)。若不進行自動保護，請檢查電氣線路是否發(fā)生斷路或短路。檢查導線是否斷路或短路。如果沒有以上異常，請檢查機械泵。
7、plasma機械泵倒計(時)常見故障（機械故障），請檢驗機械泵時間工作能力，常見故障消除點一下復位鍵。
可能原因：所處理產(chǎn)品有嚴重滲氣情況，真空倒(計)時時間機器設備較短，沒法在機器設備時間內(nèi)抽到背底真空。
解決措施：檢驗真空門是不是關到位，逐級檢驗真空系統(tǒng)中各連接點，看是不是有管道銜接異?；驓模瑱C械泵常見故障，需檢驗保養(yǎng)機械泵。
8、plasma真空計常見故障警報
可能原因：真空計常見故障或毀壞，請檢驗并替換真空計。
解決措施：檢驗真空計是不是毀壞，檢驗真空計操縱路線是不是有斷路或短路。
9.plasma急停未復位或已按住，請打開急停按鈕
解決措施：檢驗急停是不是被按住，如沒有此情況，請檢驗急停路線。