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使用低溫plasma技術處理環境工程污水，可在高能電子輻射、臭氧氧化、紫外光分解等多種方法的共同作用下，達到較好的處理效果。
一、高能電子作用：
低溫等離子技術在污水處理過程中產生大量的高能電子，通過與廢水中的原子和分子的碰撞，將能量轉化為基體分子的內能，通過激發、分解、電離等多個過程活躍廢水。
新的化合物是通過分解廢水中的分子鍵，并與游離氧和O3等活性因子發生反應而形成的。最后，Z最終將有毒物質轉化為無毒物質，并在原污水中降解污染物。
二、臭氧氧化作用：
在污水處理過程中，臭氧作為強氧化劑，使有害物質化合，形成某些中間產物，減少了原污水的毒性和有害物質的含量，經過幾次反省，最終將受污染物質的有機物質分解成CO2和H2O。對無機物質，可形成一定的氧化物進行脫除.
三、紫外光分解作用：
使用低溫plasma工藝，紫外線照射可以單獨分解有害物質，也可以與臭氧聯合分解。分離分解作用主要是有害的分子物質通過吸收光子進入激發狀態，通過吸收能量使分子的分子鍵斷裂，然后與水中的游離物質發生反應，生成新的化合物釋放。
紫外線和O3的氧化可以同時處理難降解物質，效果更好。難降解有機物和殺蟲劑都能被快速分解。
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