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CRF plasma 等離子清洗機

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用CRF等離子體表面處理儀清洗金屬復合材料會變黃嗎?

用CRF等離子體表面處理儀清洗金屬復合材料會變黃嗎?
        半導體包裝行業,包括集成電路、分離器件、傳感器和光電子包裝,經常使用金屬復合材料引線框架,為了提高鍵合和塑料密封的可靠性,金屬支架一般通過等離子體清洗機處理一會,以去除表層有機化合物、污染物,提高其可焊性、粘附性。但有的時候就會發現,金屬支架在等離子體表層處理儀的真空環境中使用不當,容易出現表層變黃、黑色、嚴重甚至燒板等現象。是因為腔內的空氣不干凈,殘余空氣中的氧分子受到刺激,氧等離子體與金屬表面發生化學反應,形成氧化的結果嗎?原因會是這樣嗎?
一、等離子體表層處理儀真空度對產品清洗效果和變黃的影響
        等離子體表層處理儀的真空度相關因素包括真空腔泄漏、背面真空、真空泵的泵送速度和工藝氣體的進氣流量。真空泵泵速度快,背面真空值越低,殘留空氣越少,銅支架與空氣中氧等離子體反應的機會越少;當工藝氣體進入時,等離子體可以與銅支架充分反應,無刺激的工藝氣體可以帶走反應,銅支架清洗效果好,不易變黃。


等離子體表面處理儀

二、等離子體表面處理儀的電源功率對產品清洗效果和變黃的影響
        等離子體清洗機電源的相關因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大,等離子體能量越高,對產品的表層影響越強;在相同功率下,加工產品越少,單位功率密度越大,清洗效果越好,但可能導致能量過大、板變黃或燒板。
三、等離子體表面處理儀電場分布對產品清洗效果和變黃的影響
       等離子體表面處理儀離子電場分布的相關因素包括電極結構、氣體流向和金屬產品的位置。不同的處理材料、工藝要求和容量要求,電極結構的設計不同;氣體流動形成氣場,影響等離子體的運動、反應和均勻性;產品的位置會影響電場和氣場特性,導致能量分布不平衡,局部等離子體密度過大,燒板。
         除上述因素外,實踐證明,等離子體清洗機的處理時間、電源頻率、車輛類型等對產品的處理效果和變黃也有影響。


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